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1. (WO2018110238) DISPOSITIF D'USINAGE AU LASER ET PROCÉDÉ D'USINAGE AU LASER

Pub. No.:    WO/2018/110238    International Application No.:    PCT/JP2017/042053
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 23 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/301
B23K 26/00
B23K 26/046
B23K 26/53
Applicants: SUMITEC CO., LTD.
株式会社スミテック
SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
住友大阪セメント株式会社
HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: MURE Masahito
牟禮 勝仁
SHIMADA Makoto
嶋田 誠
FUKUOKA Hirotake
福岡 大岳
TSUCHIMOTO Hidekazu
土本 秀和
Title: DISPOSITIF D'USINAGE AU LASER ET PROCÉDÉ D'USINAGE AU LASER
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif d'usinage au laser qui comprend : une source de lumière de mesure ; une lentille de condensation ; un détecteur de déplacement destiné à détecter le déplacement d'une surface d'incidence de faisceau laser sur la base de la lumière réfléchie d'une lumière de mesure réfléchie par la surface d'incidence de faisceau laser ; et une unité de réglage d'état d'imagerie destinée à déplacer l'état d'imagerie de la lumière de mesure et/ou la lumière réfléchie de la lumière de mesure. Le détecteur de déplacement comprend : une unité de ramification destinée à ramifier la lumière réfléchie de la lumière de mesure en une pluralité de lumières réfléchies ramifiées ; une pluralité d'unités de transmission d'astigmatisme destinées à transmettre des quantités d'astigmatisme de différentes tailles à chaque lumière réfléchie ramifiée de la pluralité de lumières réfléchies ramifiées ; une pluralité de détecteurs de forme de faisceau destinés à détecter les formes de faisceau respectives de chacune des lumières réfléchies ramifiées auxquelles un astigmatisme a été transmis ; et une unité d'acquisition de signal destinée à sélectionner, parmi les trajets de lumière de la pluralité de lumières réfléchies ramifiées, un trajet de lumière correspondant à l'état d'imagerie qui doit être réglé par l'unité de réglage d'état d'imagerie, et à acquérir un signal se rapportant au déplacement sur la base du résultat de la détection par le détecteur de forme de faisceau sur le trajet de lumière de la lumière réfléchie ramifiée sélectionnée.