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1. (WO2018109553) APPAREIL DE SYNTHÈSE D'INFILTRATION SÉQUENTIELLE
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N° de publication : WO/2018/109553 N° de la demande internationale : PCT/IB2017/001652
Date de publication : 21.06.2018 Date de dépôt international : 08.12.2017
CIB :
C23C 16/04 (2006.01)
Déposants : ASM IP HOLDING B.V.[NL/NL]; Versterkerstraat 8 1322 AP Almere, NL
Inventeurs : RAAIJMAKERS, Ivo, Johannes; NL
MAES, Jan, Willem; NL
KNAEPEN, Werner; NL
KACHEL, Krzysztof, Kamil; NL
Données relatives à la priorité :
15/380,90915.12.2016US
Titre (EN) SEQUENTIAL INFILTRATION SYNTHESIS APPARATUS
(FR) APPAREIL DE SYNTHÈSE D'INFILTRATION SÉQUENTIELLE
Abrégé : front page image
(EN) The disclosure relates to a sequential infiltration synthesis apparatus comprising: a reaction chamber constructed and arranged to accommodate at least one substrate; a first precursor flow path to provide the first precursor to the reaction chamber when a first flow controller is activated; a second precursor flow path to provide a second precursor to the reaction chamber when a second flow controller is activated; a removal flow path to allow removal of gas from the reaction chamber; a removal flow controller to create a gas flow in the reaction chamber to the removal flow path when the removal flow controller is activated; and, a sequence controller operably connected to the first, second and removal flow controllers and the sequence controller being programmed to enable infiltration of an infiltrateable material provided on the substrate in the reaction chamber. The apparatus may be provided with a heating system.
(FR) La présente invention concerne un appareil de synthèse d'infiltration séquentielle comprenant : une chambre de réaction construite et agencée pour recevoir au moins un substrat; un premier trajet d'écoulement de précurseur pour fournir le premier précurseur à la chambre de réaction lorsqu'un premier dispositif de régulation d'écoulement est activé; un second trajet d'écoulement de précurseur pour fournir un second précurseur à la chambre de réaction lorsqu'un second dispositif de régulation d'écoulement est activé; un trajet d'écoulement d'élimination pour permettre l'élimination de gaz de la chambre de réaction; un dispositif de régulation d'écoulement d'élimination pour créer un écoulement de gaz dans la chambre de réaction vers le trajet d'écoulement d'élimination lorsque le dispositif de régulation d'écoulement d'élimination est activé; et un contrôleur de séquence raccordé de manière fonctionnelle au premier dispositif de régulation d'écoulement, au second dispositif de régulation d'écoulement et au dispositif de régulation d'écoulement d'élimination et au contrôleur de séquence étant programmé pour permettre l'infiltration d'un matériau infiltrable disposé sur le substrat dans la chambre de réaction. L'appareil peut être pourvu d'un système de chauffage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)