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1. (WO2018108440) DISPOSITIF OPTIQUE ET SYSTÈMES ASSOCIÉS

Pub. No.:    WO/2018/108440    International Application No.:    PCT/EP2017/079481
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 17 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/20
G02B 26/08
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: OEMRAWSINGH, Sumant, Sukdew, Ramanujan
BLEEKER, Arno, Jan
STRUYCKEN, Alexander, Matthijs
VAN DER PASCH, Engelbertus, Antonius, Fransiscus
VAN DRIEËNHUIZEN, Bert, Pieter
Title: DISPOSITIF OPTIQUE ET SYSTÈMES ASSOCIÉS
Abstract:
L'invention concerne un système d'alignement permettant d'aligner un faisceau laser sur une position souhaitée dans un plan de référence et dans une direction souhaitée dans le plan de référence. Le système diffracte la lumière laser en différents ordres de diffraction projetés sur un plan de détection à l'aide de différentes lentilles. Lorsque les emplacements des projections des différents ordres de diffraction dans le plan de détection répondent différemment à des changements de position et de direction du faisceau dans le plan de référence, les emplacements des projections permettent de déterminer comment régler le faisceau de façon à obtenir l'alignement correct du faisceau. La diffraction et la projection peuvent être mises en œuvre à l'aide d'un hologramme.