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1. (WO2018108266) SYSTÈME DE DÉPÔT

Pub. No.:    WO/2018/108266    International Application No.:    PCT/EP2016/081027
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 15 00:59:59 CET 2016
IPC: C23C 14/24
C23C 14/50
C23C 14/56
C23C 14/04
C03C 17/02
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
HAAS, Dieter
SCHÜSSLER, Uwe
DIEGUEZ-CAMPO, Jose Manuel
BANGERT, Stefan
Inventors: HAAS, Dieter
SCHÜSSLER, Uwe
DIEGUEZ-CAMPO, Jose Manuel
BANGERT, Stefan
Title: SYSTÈME DE DÉPÔT
Abstract:
La présente invention concerne un système de traitement (100) pour déposer une ou plusieurs couches sur un substrat soutenu par un support. Le système de traitement comprend : une chambre de verrouillage de charge (110) pour charger un substrat ; un module d’acheminement (410) pour transporter le substrat ; un premier module de vide alterné (131) ; et un module de traitement (510) comprenant une source de dépôt pour déposer un matériau ; un module de service (610) ; une chambre de verrouillage de déchargement (116) pour décharger le substrat ; un autre module d’acheminement (412) ; un magasin de support de masque (320) configuré pour stocker et transporter des masques utilisés pendant le fonctionnement du système de traitement ; un module de vide alterné supplémentaire (132) ; et un système de transport (710) configuré pour transporter le support entre le premier module de vide alterné (131) et l’autre module de vide alterné (132).