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1. (WO2018108257) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE SILICIUM POLYCRISTALLIN

Pub. No.:    WO/2018/108257    International Application No.:    PCT/EP2016/080897
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 15 00:59:59 CET 2016
IPC: C01B 33/035
Applicants: WACKER CHEMIE AG
Inventors: HERTLEIN, Harald
KRAUS, Heinz
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE SILICIUM POLYCRISTALLIN
Abstract:
L'invention concerne un procédé de production de silicium polycristallin, consistant à introduire un gaz de réaction contenant de l'hydrogène et du silane et/ou de l'halosilane dans un réacteur qui comprend au moins un corps de support chauffé sur lequel du silicium élémentaire est déposé par pyrolyse de manière à former le silicium polycristallin. Dans un processus continu, les gaz brûlés sont évacués du réacteur et l'hydrogène récupéré à partir de ces gaz brûlés est recyclé en tant que gaz de recyclage dans le réacteur. Le gaz de recyclage présente une teneur en azote inférieure à 1000 ppmv. En outre, l'invention concerne du silicium polycristallin présentant une teneur en azote inférieure à 2 ppba.