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1. (WO2018108239) QUALIFICATION DE COUCHE LTPS SUR DES SUBSTRATS D'AFFICHAGE PAR SEM EN LIGNE À L'AIDE D'UN DÉTECTEUR MULTI-PERSPECTIVE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION D'UN SUBSTRAT DE GRANDE SURFACE

Pub. No.:    WO/2018/108239    International Application No.:    PCT/EP2016/080662
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 13 00:59:59 CET 2016
IPC: H01J 37/28
H01J 37/22
G06T 7/55
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
MUELLER, Bernhard G.
ZHANG, Xuena
NUNAN, Peter
VIRDI, Kulpreet Singh
Inventors: MUELLER, Bernhard G.
ZHANG, Xuena
NUNAN, Peter
VIRDI, Kulpreet Singh
Title: QUALIFICATION DE COUCHE LTPS SUR DES SUBSTRATS D'AFFICHAGE PAR SEM EN LIGNE À L'AIDE D'UN DÉTECTEUR MULTI-PERSPECTIVE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION D'UN SUBSTRAT DE GRANDE SURFACE
Abstract:
La présente invention concerne un procédé pour inspecter un substrat. Le procédé consiste à fournir le substrat qui est un substrat de grande surface dans une chambre à vide, le substrat ayant un film mince ayant une structure de grain déposée sur le substrat; à générer un faisceau de particules primaires chargées avec un microscope à faisceau de particules chargées d'imagerie, le faisceau de particules primaires chargées frappant le substrat dans la chambre à vide; et à générer une ou plusieurs images à partir de particules de signal libérées du substrat lors de l'impact du faisceau de particules primaires chargées, l'une ou plusieurs images étant des images topographiques.