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1. (WO2018107791) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE AUTOMATIQUE DE PLATEFORME DE TRANSFERT DE PUCE D'EXCITATION

Pub. No.:    WO/2018/107791    International Application No.:    PCT/CN2017/097604
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Aug 17 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 11/06
Applicants: HKC CORPORATION LIMITED
惠科股份有限公司
CHONGQING HKC OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.
重庆惠科金渝光电科技有限公司
Inventors: ZHANG, Guanghui
张光辉
Title: PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE AUTOMATIQUE DE PLATEFORME DE TRANSFERT DE PUCE D'EXCITATION
Abstract:
L'invention concerne un procédé de détection d'un dispositif de mesure automatique d'une plateforme de transfert de puce d'excitation. Le dispositif de mesure automatique comprend : une plateforme (1), une buse d'aspiration de pré-positionnement (2), une buse d'aspiration d'inversion (3), un capteur (4) et un réflecteur (5). Le capteur (4) est fixé à un côté de la buse d'aspiration d'inversion (3). Le réflecteur (5) est fixé à un côté de la buse d'aspiration de pré-positionnement (2). Le réflecteur (5) est situé en dessous du capteur (4). Le procédé de détection comprend les étapes suivantes : le dispositif de mesure automatique commande à une source de lumière d'émettre de la lumière vers le réflecteur (5) (301) ; le capteur (4) détecte une valeur de mesure du réflecteur (5) (302) ; le dispositif de mesure automatique détermine une courbe de valeurs de mesure par rapport à des hauteurs en fonction du matériau du réflecteur (5) (303) ; le dispositif de mesure automatique consulte la courbe afin d'obtenir une valeur de hauteur correspondant à la valeur de mesure (304) ; et le dispositif de mesure automatique détermine, en fonction de la valeur de hauteur, si la plateforme (1) réussit la détection (305).