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1. (WO2018106970) TECHNOLOGIE DE CARTE SONDE DE SOURCE DE LUMIÈRE À DEL POUR ESSAYER DES DISPOSITIFS DE BALAYAGE D'IMAGE CMOS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/106970    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/065195
Date de publication : 14.06.2018 Date de dépôt international : 07.12.2017
CIB :
G01M 11/00 (2006.01), G01N 21/88 (2006.01), G01J 1/42 (2006.01)
Déposants : FORMFACTOR, INC. [US/US]; 7005 Southfront Road Livermore, CA 94551 (US)
Inventeurs : KAWAMATA, Nobuhiro; (JP).
KASAI, Toshihiro; (JP).
SASANAMI, Hiromitsu; (JP).
MORI, Shigeki; (JP)
Mandataire : JACOBS, Ron; (US).
LODENKAMPER, Robert; (US).
MCFARLANE, Thomas, J.; (US).
PARRIS, James; (US)
Données relatives à la priorité :
62/432,548 09.12.2016 US
Titre (EN) LED LIGHT SOURCE PROBE CARD TECHNOLOGY FOR TESTING CMOS IMAGE SCAN DEVICES
(FR) TECHNOLOGIE DE CARTE SONDE DE SOURCE DE LUMIÈRE À DEL POUR ESSAYER DES DISPOSITIFS DE BALAYAGE D'IMAGE CMOS
Abrégé : front page image
(EN)Improved wafer-scale testing of optoelectronic devices, such as CMOS image scan devices, is provided. A probe card includes an LED light source corresponding to each device under test in the wafer. The LED light sources provide light from a phosphor illuminated by the LED. A pinhole and lens arrangement is used to collimate the light provided to the devices under test. Uniformity of illumination can be provided by closed loop control of the LED light sources using internal optical signals as feedback signals, in combination with calibration data relating the optical signal values to emitted optical intensity. Uniformity of illumination can be further improved by providing a neutral density filter for each LED light source to improve uniformity from one source to another and/or to improve uniformity of the radiation pattern from each LED light source.
(FR)L'invention concerne un essai amélioré à l'échelle de tranche de dispositifs optoélectroniques, tels que des dispositifs de balayage d'image CMOS. Une carte sonde comprend une source de lumière à DEL correspondant à chaque dispositif à l'essai dans la tranche. Les sources de lumière à DEL fournissent de la lumière par un luminophore éclairé par la DEL. Un agencement de trou de broche et de lentille est utilisé pour mettre en collimation la lumière fournie aux dispositifs mis à l'essai. L'uniformité de l'éclairage peut être fournie par une commande en boucle fermée des sources de lumière à DEL à l'aide de signaux optiques internes en tant que signaux de rétroaction, en combinaison avec des données d'étalonnage concernant les valeurs de signal optique à une intensité optique émise. L'uniformité de l'éclairage peut être davantage améliorée par utilisation d'un filtre de densité neutre pour chaque source de lumière à DEL afin d'améliorer l'uniformité d'une source vers une autre source de lumière à DEL et/ou d'améliorer l'uniformité du diagramme de rayonnement à partir de chaque source de lumière à DEL.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)