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1. (WO2018106970) TECHNOLOGIE DE CARTE SONDE DE SOURCE DE LUMIÈRE À DEL POUR ESSAYER DES DISPOSITIFS DE BALAYAGE D'IMAGE CMOS

Pub. No.:    WO/2018/106970    International Application No.:    PCT/US2017/065195
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017
IPC: G01M 11/00
G01N 21/88
G01J 1/42
Applicants: FORMFACTOR, INC.
Inventors: KAWAMATA, Nobuhiro
KASAI, Toshihiro
SASANAMI, Hiromitsu
MORI, Shigeki
Title: TECHNOLOGIE DE CARTE SONDE DE SOURCE DE LUMIÈRE À DEL POUR ESSAYER DES DISPOSITIFS DE BALAYAGE D'IMAGE CMOS
Abstract:
L'invention concerne un essai amélioré à l'échelle de tranche de dispositifs optoélectroniques, tels que des dispositifs de balayage d'image CMOS. Une carte sonde comprend une source de lumière à DEL correspondant à chaque dispositif à l'essai dans la tranche. Les sources de lumière à DEL fournissent de la lumière par un luminophore éclairé par la DEL. Un agencement de trou de broche et de lentille est utilisé pour mettre en collimation la lumière fournie aux dispositifs mis à l'essai. L'uniformité de l'éclairage peut être fournie par une commande en boucle fermée des sources de lumière à DEL à l'aide de signaux optiques internes en tant que signaux de rétroaction, en combinaison avec des données d'étalonnage concernant les valeurs de signal optique à une intensité optique émise. L'uniformité de l'éclairage peut être davantage améliorée par utilisation d'un filtre de densité neutre pour chaque source de lumière à DEL afin d'améliorer l'uniformité d'une source vers une autre source de lumière à DEL et/ou d'améliorer l'uniformité du diagramme de rayonnement à partir de chaque source de lumière à DEL.