Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018106952) CONCEPTION DE BROCHE DE LEVAGE DE BORD DE TRANCHE POUR FABRIQUER UN DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2018/106952    International Application No.:    PCT/US2017/065166
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/687
Applicants: TEL FSI, INC.
Inventors: HANZLIK, Edward D.
MOORE, Sean
Title: CONCEPTION DE BROCHE DE LEVAGE DE BORD DE TRANCHE POUR FABRIQUER UN DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS
Abstract:
L'invention concerne une broche de levage de bord de tranche d'un appareil servant à fabriquer un dispositif à semi-conducteurs. La broche de levage de bord de tranche comprend : une section supérieure contenant une partie encoche ayant une surface horizontale tournée vers le haut afin de porter une tranche et une surface inclinée verticalement afin de permettre un confinement latéral de la tranche, la partie encoche étant balayée horizontalement à distance de la tranche le long d'un rayon ; une section de base située au-dessous de la section supérieure et dont le diamètre est supérieur à celui de la section supérieure en travers de la partie encoche ; une section inférieure dont le diamètre est inférieur à celui de la section de base. L'appareil est pourvu d'une chambre de traitement dans laquelle la tranche est traitée, d'un ensemble support individuel sur lequel la tranche est chargée, et d'au moins trois broches de levage de bord de tranche servant à déplacer la tranche vers le haut et vers le bas.