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1. (WO2018106831) FORMATION DE MOTIFS SUR DES RÉGIONS MÉTALLIQUES DE FILMS D'OXYDE MÉTALLIQUE OU DE FILMS MÉTALLIQUES PAR RÉDUCTION OU OXYDATION SÉLECTIVE À L'AIDE D'UN CHAUFFAGE LOCALISÉ

Pub. No.:    WO/2018/106831    International Application No.:    PCT/US2017/064952
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 07 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/58
C23C 16/56
C23C 16/40
Applicants: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
Inventors: BONNECAZE, Roger
CHOPRA, Meghali
CHOPRA, Sonali
BINAGIA, Jeremy
EKERDT, John
EDMONDSON, Bryce
Title: FORMATION DE MOTIFS SUR DES RÉGIONS MÉTALLIQUES DE FILMS D'OXYDE MÉTALLIQUE OU DE FILMS MÉTALLIQUES PAR RÉDUCTION OU OXYDATION SÉLECTIVE À L'AIDE D'UN CHAUFFAGE LOCALISÉ
Abstract:
L'invention concerne un procédé de création de motifs métalliques. Un film d'oxyde métallique ou un film métallique est déposé sur un substrat dans un réacteur. Après le dépôt du film d'oxyde métallique ou du film métallique, les régions métalliques ou d'oxyde métallique souhaitées sont formées sur le film d'oxyde métallique ou le film métallique par le biais d'une réaction de réduction ou d'oxydation. Un gaz réducteur ou oxydant est introduit dans le réacteur. En outre, une source de chaleur, telle qu'une sonde thermique ou un faisceau laser à haute intensité, est soumise à des impulsions de façon à chauffer et à former des régions métalliques ou des régions d'oxyde métallique sur le film d'oxyde métallique ou le film métallique à l'intérieur de la fenêtre de réduction ou d'oxydation du métal. Il est ainsi possible d'obtenir des avantages par rapport aux techniques de formation de motifs précédentes, entre autres : un meilleur contrôle et une plus grande uniformité, un coût réduit, moins de déchets et la possibilité de former des caractéristiques inférieures à 5 nm.