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1. (WO2018106827) AUGMENTATION DE DONNÉES À DES FINS D'INSPECTION DE DÉFAUT BASÉE SUR UN RÉSEAU NEURONAL CONVOLUTIONNEL
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N° de publication : WO/2018/106827 N° de la demande internationale : PCT/US2017/064947
Date de publication : 14.06.2018 Date de dépôt international : 06.12.2017
CIB :
H01L 21/66 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
BRAUER, Bjorn; US
RAMACHANDRAN, Vijayakumar; US
WALLING FORD, Richard; US
YOUNG, Scott A.; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Ellizabeth M. N.; US
Données relatives à la priorité :
15/720,27229.09.2017US
62/430,92507.12.2016US
Titre (EN) DATA AUGMENTATION FOR CONVOLUTIONAL NEURAL NETWORK-BASED DEFECT INSPECTION
(FR) AUGMENTATION DE DONNÉES À DES FINS D'INSPECTION DE DÉFAUT BASÉE SUR UN RÉSEAU NEURONAL CONVOLUTIONNEL
Abrégé :
(EN) Systems and methods for providing an augmented input data to a convolutional neural network (CNN) are disclosed. Wafer images are received at a processor. The wafer image is divided into a plurality of references images each associated with a die in the wafer image. Test images are received. A plurality of difference images are created by differences the test images with the reference images. The reference images and difference images are assembled into the augmented input data for the CNN and provided to the CNN.
(FR) L'invention concerne des systèmes et des procédés permettant de fournir des données d'entrée augmentées à un réseau neuronal convolutionnel (CNN). Des images de tranche sont reçues au niveau d'un processeur. L'image de tranche est divisée en une pluralité d'images de référence individuellement associées à une puce de l'image de tranche. Des images de test sont reçues. Une pluralité d'images de différence sont créées par différence des images de test avec les images de référence. Les images de référence et les images de différence sont assemblées en données d'entrée augmentées à destination du CNN et sont fournies au CNN.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)