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1. (WO2018106626) PRÉCURSEURS DE RUTHÉNIUM POUR DÉPÔT DE COUCHES MINCES ALD ET CVD, ET LEURS UTILISATIONS

Pub. No.:    WO/2018/106626    International Application No.:    PCT/US2017/064597
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 06 00:59:59 CET 2017
IPC: C07F 15/00
C23C 16/42
C23C 16/455
H01L 21/285
H01L 21/02
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: SCHMIEGE, Benjamin
ANTHIS, Jeffrey W.
THOMPSON, David
Title: PRÉCURSEURS DE RUTHÉNIUM POUR DÉPÔT DE COUCHES MINCES ALD ET CVD, ET LEURS UTILISATIONS
Abstract:
L'invention concerne des complexes de coordination métalliques comprenant un atome de métal coordonné à au moins un ligand de diazabutadiène ayant une structure représentée par : où chaque R représente indépendamment un groupe alkyle ou un groupe aryle en C1-C13 et chaque R' représente indépendamment H, un groupe alkyle ou un groupe aryle en C1-C10. L'invention concerne également des procédés de traitement utilisant les complexes de coordination métalliques.