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1. (WO2018106193) STRUCTURES MEMS DE CAPTEUR DE GAZ ET LEURS PROCÉDÉS DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2018/106193    International Application No.:    PCT/SG2017/050609
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 09 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 21/3504
G01N 21/61
G01N 21/01
Applicants: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
Inventors: MACRELLI, Enrico
ALIOTO, Massimo Bruno Cristiano
LEE, Chengkuo
SPANOS, Costas John
QIAN, You
Title: STRUCTURES MEMS DE CAPTEUR DE GAZ ET LEURS PROCÉDÉS DE FABRICATION
Abstract:
L'invention concerne un capteur de gaz, un procédé de fabrication d'un capteur de gaz, un procédé de fabrication d'une puce de système micro-électromécanique (MEMS) d'un dispositif de chauffage ou d'une thermopile, et une puce de système micro-électromécanique (MEMS) d'un dispositif de chauffage ou d'une thermopile. Le capteur de gaz comprend une première puce de système micro-électromécanique (MEMS) comprenant une source de lumière ; une seconde puce MEMS comprenant un détecteur de lumière ; une chambre d'échantillon disposée dans un trajet optique entre la source de lumière et le détecteur de lumière ; un substrat de support, les première et seconde puces MEMS étant disposées sur le substrat de support dans une orientation verticale par rapport au support.