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1. (WO2018105620) COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE ET STRATIFIÉ DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE

Pub. No.:    WO/2018/105620    International Application No.:    PCT/JP2017/043680
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 06 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/09
G03F 7/004
G03F 7/033
G03F 7/20
H05K 3/00
Applicants: ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA
旭化成株式会社
Inventors: MATSUDA, Takayuki
松田 隆之
NISHIZAWA, Go
西澤 豪
MIYAZAKI, Jun
宮崎 純
Title: COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE ET STRATIFIÉ DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE
Abstract:
L'invention concerne un stratifié de résine photosensible pouvant assurer une haute résolution et une reproductibilité de largeur de ligne satisfaisante même lorsqu'un écart de focalisation apparaît pendant une exposition. Le stratifié de résine photosensible d'après l'invention est pourvu d'un film de support et d'une couche en une composition de résine photosensible qui contient une composition de résine photosensible et qui est formée sur ledit film de support. Lorsqu'une pièce carrée de 5 mm est découpée en dix emplacements définis arbitrairement dans le film de support, le nombre de particules fines d'une taille supérieure ou égale à 1,5 µm et inférieure à 4,5 µm comprises dans chacune des pièces se situe entre 0 à 200 en moyenne sur les dix emplacements.