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1. (WO2018105462) PROCÉDÉ ET PROGRAMME DE TRAITEMENT DE SIGNAUX

Pub. No.:    WO/2018/105462    International Application No.:    PCT/JP2017/042854
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 30 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 15/14
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: UMEHARA, Yasutoshi
梅原 康敏
Title: PROCÉDÉ ET PROGRAMME DE TRAITEMENT DE SIGNAUX
Abstract:
L’invention concerne un procédé de traitement de signaux dans lequel un ordinateur exécute les processus consistant : à détecter un signal de lumière projeté sur un objet fluide qui est inspecté ; à rechercher une crête de forme d’onde dans le signal détecté ; à adapter la largeur de la forme d’onde de la crête recherchée ; à calculer une valeur caractéristique de la forme d’onde adaptée ; et à déterminer, sur la base de la présence ou non de la valeur caractéristique de la forme d’onde calculée dans une plage de seuil préétablie, si le signal avec la forme d’onde adaptée est ou non un signal représentant une particule fine dans l’objet qui est inspecté.