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1. (WO2018105354) APPAREIL FORMANT UN FILM, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM FORMÉ EN L'UTILISANT ET PANNEAU DE REFROIDISSEMENT

Pub. No.:    WO/2018/105354    International Application No.:    PCT/JP2017/041326
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 17 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/54
C23C 14/24
C23C 14/34
Applicants: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
株式会社神戸製鋼所
Inventors: FUJII, Hirofumi
藤井 博文
SUZUKI, Takeshi
鈴木 毅
Title: APPAREIL FORMANT UN FILM, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM FORMÉ EN L'UTILISANT ET PANNEAU DE REFROIDISSEMENT
Abstract:
L'invention concerne un appareil formant un film ayant une structure simple et compacte. L'appareil formant un film (1) comprend : au moins une cible (4) ayant une surface en regard qui fait face à un substrat (W) ; de multiples supports de cible (5) dont chacun porte de manière amovible une cible (4) ; des unités de refroidissement (6) pour refroidir les multiples supports de cible (5) ; et au moins un panneau de refroidissement (7). Le ou les panneaux de refroidissement (7) comprennent une partie supportée (7d) qui est supportée de manière amovible dans un support de cible (5) et une partie de réception de chaleur (7b) comprenant une surface de réception de chaleur (7e) qui fait face au substrat (W) et reçoit la chaleur rayonnante émise par le substrat (W) lorsque la partie retenue (7d) est supportée par le support de cible (5). La partie supportée (7d) transfère la chaleur de la surface de réception de chaleur (7e) au support de cible (5). Chaque support de cible (5) supporte alternativement une cible (4) et un panneau de refroidissement (7).