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1. (WO2018105353) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN MOULE DE NANO-IMPRESSION

Pub. No.:    WO/2018/105353    International Application No.:    PCT/JP2017/041323
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 17 00:59:59 CET 2017
IPC: B29C 59/02
B29C 33/40
Applicants: STANLEY ELECTRIC CO., LTD.
スタンレー電気株式会社
Inventors: TAMARI, Naoki
溜 直樹
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN MOULE DE NANO-IMPRESSION
Abstract:
Procédé de production d'un moule à empreinte pour nano-impression, qui utilise, en tant que matériau de film de revêtement, une composition photodurcissable qui contient un monomère polymérisable, un composé de silicium et un initiateur de photopolymérisation, ledit moule à empreinte étant composé d'un stratifié qui comprend une couche de matériau de base et une couche de motif. Ce procédé de production d'un moule à empreinte pour nano-impression est caractérisé en ce qu'un stratifié ayant une surface de film photodurci du matériau de film de revêtement, qui est formé directement ou indirectement sur la couche de matériau de base et a un motif transféré au moyen d'un moule, est soumis à une atmosphère de plasma en présence de H2O, et est ensuite amené à réagir avec un agent de couplage au silane pour démoulage.