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1. (WO2018104931) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR ÉVALUER UNE QUALITÉ DE DÉFAUT

Pub. No.:    WO/2018/104931    International Application No.:    PCT/IL2017/051303
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 01 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 21/88
H01L 21/02
H01L 21/312
Applicants: ORBOTECH LTD.
Inventors: FELDMAN, Boris
SUGAYA, Katsuya
TABATA, Yuzuru
YAMAMOTO, Shigeru
Title: PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR ÉVALUER UNE QUALITÉ DE DÉFAUT
Abstract:
L'invention concerne un procédé pour évaluer une qualité de défaut qui consiste à acquérir plusieurs images, avec un palier prédéfini dans une direction de hauteur par un moyen d'image optique (22), d'un sujet d'inspection (10) qui comprend des films minces transparents multicouches (1, 2, 3, 4, 5, 6) ; à calculer la netteté d'images partielles à partir de différences de luminance par rapport à des pixels adjacents pour chaque pixel de la pluralité d'images ; à calculer des informations de hauteur des images partielles à partir d'un nombre d'images où un résultat de calcul de la netteté à une même position de pixel est maximum sur toutes les images de la pluralité d'images ; à obtenir des informations tridimensionnelles de toutes les images à partir du calcul des informations de hauteur ; et à déterminer une qualité de défaut du sujet d'inspection sur la base des informations tridimensionnelles.