Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018104689) RÉACTEUR MODULAIRE POUR LE DÉPÔT ASSISTÉ PAR PLASMA MICROONDE

Pub. No.:    WO/2018/104689    International Application No.:    PCT/FR2017/053482
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 09 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 16/27
C23C 16/511
H01J 37/32
Applicants: DIAM CONCEPT
Inventors: GICQUEL, Alix
DES PORTES, François
Title: RÉACTEUR MODULAIRE POUR LE DÉPÔT ASSISTÉ PAR PLASMA MICROONDE
Abstract:
L'invention porte sur un réacteur modulaire (1) de dépôt assisté par plasma microonde pour la fabrication de diamant de synthèse, ledit réacteur étant caractérisé en ce qu'il comprend au moins trois éléments de modulation, lesdits éléments de modulation étant sélectionnés parmi: une couronne (450) apte à être positionnée entre une première partie d'enceinte (430) et une deuxième partie d'enceinte (440); un module de porte substrat (500), mobile en translation verticale et en rotation, en contact avec un quart d'onde (501) et comportant au moins un système de refroidissement fluide (520); un plateau (900) mobile en translation verticale de façon à modifier la forme et le volume de la cavité résonante (41) et comportant des ouvertures traversantes (911) permettant le passage des gaz; - un module de distribution des gaz (100), comportant une plaque de distribution des gaz amovible (110) comprenant une surface interne (111), une surface externe (112) et une pluralité de buses de distribution des gaz (113) formant des canaux entre les dites surfaces (111, 112) aptes à conduire un flux de gaz, et un dispositif de support (120) relié à un système de refroidissement et apte à accueillir la plaque de distribution amovible des gaz amovible (110); et un module de contrôle du refroidissement du substrat (300), comportant un dispositif d'injection de gaz de résistance thermique amovible (330).