Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018104666) PROCEDE ET DISPOSITIF DE CONTROLE D'UN COLLAGE ENTRE DEUX SUBSTRATS

Pub. No.:    WO/2018/104666    International Application No.:    PCT/FR2017/053420
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 07 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 29/04
G01N 29/11
G01N 29/44
G01N 29/46
Applicants: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Inventors: FOURNEL, Frank
DEKIOUS, Ali
DELOFFRE, Emilie
DESPAUX, Gilles
LARREY, Vincent
LE CLEZIO, Emmanuel
Title: PROCEDE ET DISPOSITIF DE CONTROLE D'UN COLLAGE ENTRE DEUX SUBSTRATS
Abstract:
L'invention concerne un procédé de contrôle d'un assemblage comprenant des premier (W1) et deuxième (W2) substrats accolés, ce procédé comportant les étapes suivantes: a) émettre un signal ultrasonore d'excitation en direction de l'assemblage au moyen d'un transducteur ultrasonore (301) placé du côté de la face avant (A1) du premier substrat (W1); b) mesurer, au moyen dudit transducteur (301), un signal ultrasonore retour comportant au moins un écho (EF) du signal d'excitation sur la face arrière (B2) du deuxième substrat (W2); c) calculer, au moyen d'un circuit de traitement (303), un signal spectral représentatif de l'évolution en fréquence d'un coefficient de réflexion global de l'assemblage, défini comme étant le rapport du signal retour mesuré à l'étape b) sur le signal d'excitation;et d) déduire dudit signal spectral une information quant à la qualité du collage entre les premier (W1) et deuxième (W2) substrats.