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1. (WO2018104573) REVÊTEMENTS TRANSPARENTS ET ÉLECTROCONDUCTEURS À BASE DE NITRURES, DE BORURES OU DE CARBURES

Pub. No.:    WO/2018/104573    International Application No.:    PCT/ES2017/070802
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 1/22
G03F 1/38
Applicants: FUNDACIÓ INSTITUT DE CIÈNCIES FOTÒNIQUES
INSTITUCIÓ CATALANA DE RECERCA I ESTUDIS AVANÇATS
Inventors: PRUNERI, Valerio
MANIYARA, Rinu, Abraham
Title: REVÊTEMENTS TRANSPARENTS ET ÉLECTROCONDUCTEURS À BASE DE NITRURES, DE BORURES OU DE CARBURES
Abstract:
La présente invention concerne des compositions pour masques photolithographiques qui comprennent un substrat et un revêtement qui possède au moins une couche électroconductrice contenant un nitrure, un borure ou un carbure, ainsi que des procédés de préparation desdites compositions.