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1. (WO2018104513) PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE COUCHES MINCES

Pub. No.:    WO/2018/104513    International Application No.:    PCT/EP2017/081999
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 09 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/02
H01L 21/20
Applicants: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Inventors: MONTMEAT, Pierre
FOURNEL, Frank
Title: PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE COUCHES MINCES
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de transfert d'une couche mince (3) sur un substrat de destination (9) sur une face duquel une couche adhésive (8) est présente, caractérisé en ce qu'il comprend, à partir d'un support temporaire (4) à une face duquel une première face (31) de la couche mince (3) est solidarisée: -une formation d'une couche d'interface (7) en matériau polymère sur une deuxième face (32) de la couche mince (3), opposée à la première face (31); -un assemblage par collage de la couche d'interface (7) et de la couche adhésive (8); -une séparation de la couche mince (3) relativement au support temporaire (4).