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1. (WO2018104304) CAPTEUR DE PRESSION

Pub. No.:    WO/2018/104304    International Application No.:    PCT/EP2017/081529
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 06 00:59:59 CET 2017
IPC: G01L 9/00
G01L 19/14
Applicants: MEAS SWITZERLAND S.A.R.L.
Inventors: ARNOLD, Thomas
GOGUILLOT, Philippe
DRLJACA, Predrag
Title: CAPTEUR DE PRESSION
Abstract:
Cette invention concerne un capteur de pression, comprenant un substrat ayant un premier boîtier définissant une cavité intérieure remplie de gaz agencée sur celui-ci. Un élément d'étanchéité élastique est fixé à une extrémité libre du premier boîtier et recouvre généralement une extrémité ouverte de la cavité intérieure pour sceller la cavité intérieure par rapport à un environnement extérieur. Une partie de l'élément d'étanchéité élastique est configurée pour être mobile en réponse à une pression agissant sur celle-ci. Une puce à semi-conducteur est disposée sur le substrat et définit une membrane de détection de pression exposée au gaz occupant la cavité intérieure.