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1. (WO2018104073) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE COMMANDE DE PROCESSUS INFORMATIQUE

Pub. No.:    WO/2018/104073    International Application No.:    PCT/EP2017/080324
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 25 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/20
G06F 17/50
G05B 19/418
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: LU, Yen-Wen
CHEN, Xiaorui
LIN, Yang
Title: PROCÉDÉ ET APPAREIL DE COMMANDE DE PROCESSUS INFORMATIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de commande d'un processus informatique pour concevoir ou vérifier un composant photolithographique, ledit procédé consistant à construire un arbre source comprenant des nœuds du processus, comprenant des relations de dépendance entre les nœuds, à définir, pour certains nœuds, au moins deux conditions de processus différentes, à développer l'arbre source afin de former un arbre étendu, comprenant la génération d'un nœud séparé pour chaque condition de processus définie différente, et à dupliquer des nœuds dépendants ayant une relation d'entrée à chaque nœud séparé généré, à déterminer des exigences de matériel informatique respectives pour traiter le nœud, à sélectionner des contraintes de matériel informatique sur la base des capacités du système informatique hôte, à déterminer, sur la base des exigences et des contraintes et des relations de dépendance dans l'arbre étendu, d'une séquence d'exécution pour le processus informatique, et à effectuer le processus informatique sur le système informatique.