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1. (WO2018104021) PROCÉDÉ DE MESURE D'UNE CIBLE, APPAREIL DE MÉTROLOGIE, ENSEMBLE POLARISEUR

Pub. No.:    WO/2018/104021    International Application No.:    PCT/EP2017/079467
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 17 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/20
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: PANDEY, Nitesh
ZHOU, Zili
Title: PROCÉDÉ DE MESURE D'UNE CIBLE, APPAREIL DE MÉTROLOGIE, ENSEMBLE POLARISEUR
Abstract:
La présente invention se rapporte à des procédés de mesure d'une cible formée par un processus lithographique, à un appareil de métrologie, et à un ensemble polariseur. La cible comprend une structure disposée en couches ayant une première structure périodique dans une première couche et une seconde structure périodique dans une seconde couche. La cible est éclairée par un rayonnement de mesure polarisé. Un rayonnement diffusé d'ordre zéro provenant de la cible est détecté. Une asymétrie dans la première structure périodique est dérivée à l'aide du rayonnement diffusé d'ordre zéro provenant de la cible qui a été détecté. Une séparation entre la première couche et la seconde couche est telle que le rayonnement diffusé d'ordre zéro détecté est indépendant d'une erreur de recouvrement entre la première structure périodique et la seconde structure périodique. L'asymétrie dérivée dans ladite première structure périodique sert à dériver la valeur de recouvrement correcte entre la première structure périodique et la seconde structure périodique.