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1. (WO2018102757) CLAPET À BATTANT SURBAISSÉ PROTÉGÉ CONTRE LES PARTICULES
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N° de publication : WO/2018/102757 N° de la demande internationale : PCT/US2017/064320
Date de publication : 07.06.2018 Date de dépôt international : 01.12.2017
CIB :
F16K 1/20 (2006.01) ,F16K 27/02 (2006.01)
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
1
Soupapes ou clapets, c. à d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture possède au moins une composante du mouvement d'ouverture ou de fermeture perpendiculaire à la surface d'obturation
16
à éléments de fermeture articulés à pivot
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comportant disque ou volet pivotant
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dont l'axe de rotation est disposé à l'extérieur du corps de soupape
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
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Structures des logements; Matériaux utilisés à cet effet
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des soupapes de levage
Déposants :
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
CARLSON, Charles T.; US
PRIDE, Tammy Jo; US
RIORDON, Benjamin B.; US
WEBB, Aaron; US
Mandataire :
PATTERSON, B. Todd; US
DOUGHERTY, Chad M.; US
Données relatives à la priorité :
62/429,56202.12.2016US
Titre (EN) LOW PARTICLE PROTECTED FLAPPER VALVE
(FR) CLAPET À BATTANT SURBAISSÉ PROTÉGÉ CONTRE LES PARTICULES
Abrégé :
(EN) Embodiments of the disclosure generally relate to a flapper valve. The flapper valve may be used with processing chambers, such as semiconductor substrate processing chambers. In one embodiment, a flapper valve includes a housing having a first opening at a first end thereof and a second opening at a second end thereof, a first flapper pivotably disposed in the housing, and a second flapper pivotably disposed in the housing. The first and second flappers are movable to selectively open and close at least one of the first opening and the second opening.
(FR) Selon certains modes de réalisation, cette invention concerne en général un clapet à battant. Le clapet à battant peut être utilisé avec des chambres de traitement, telles que des chambres de traitement de substrat semi-conducteur. Selon un mode de réalisation, un clapet à battant comprend un boîtier ayant une première ouverture à une première extrémité de celui-ci et une seconde ouverture à une seconde extrémité de celui-ci, un premier battant disposé de manière pivotante dans le boîtier, et un second battant disposé de manière pivotante dans le boîtier. Les premier et second battants sont mobiles pour ouvrir et fermer sélectivement au moins l'une de la première ouverture et de la seconde ouverture.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)