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1. (WO2018102500) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CAPTEUR DE SÉLÉNIUM AMORPHE MULTICOUCHE FUSIONNÉ

Pub. No.:    WO/2018/102500    International Application No.:    PCT/US2017/063857
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 01 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 31/0272
H01L 31/0376
H01L 31/115
H01L 27/14
H01L 27/146
Applicants: THE RESEARCH FOUNDATION FOR THE STATE UNIVERSITY OF NEW YORK
Inventors: SCHEUERMANN, James
ZHAO, Wei
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CAPTEUR DE SÉLÉNIUM AMORPHE MULTICOUCHE FUSIONNÉ
Abstract:
L'invention concerne un capteur comprenant une couche de sélénium amorphe (a-Se) et au moins une couche de blocage de charge étant formée par dépôt de la couche de blocage de charge sur un substrat avant le dépôt du sélénium amorphe, permettant la formation de la couche de blocage de charge à des températures élevées. Un tel procédé n'est pas limité par la température de cristallisation de a-Se, conduisant à la formation d'une couche de blocage de charge efficace, ce qui permet une amplification de signal améliorée du dispositif résultant. Le capteur peut être fabriqué par formation de première et seconde couches de sélénium amorphe sur des substrats séparés, puis par fusion des couches a-Se à une température relativement basse.