Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018102492) CONCEPTION DE KIT DE TRAITEMENT POUR DISPOSITIF DE CHAUFFAGE EN CHAMBRE ET MÉCANISME DE ROTATION DE TRANCHE

Pub. No.:    WO/2018/102492    International Application No.:    PCT/US2017/063844
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 01 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/687
H01L 21/683
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: RASHEED, Muhammad M.
MUSTAFA, Muhannad
TAVASSOLI, Hamid
SANSONI, Steven V.
TSAI, Cheng-Hsiung
BANTHIA, Vikash
Title: CONCEPTION DE KIT DE TRAITEMENT POUR DISPOSITIF DE CHAUFFAGE EN CHAMBRE ET MÉCANISME DE ROTATION DE TRANCHE
Abstract:
Des modes de réalisation de la présente invention concernent des kits de traitement destinés à être utilisés avec un dispositif de chauffage en chambre et un mécanisme de rotation de substrat. Dans certains modes de réalisation de la présente invention, un kit de traitement destiné à être utilisé avec un socle de dispositif de chauffage de support de substrat rotatif pour supporter un substrat dans une chambre de traitement peut comprendre un anneau de bord supérieur comprenant un rebord supérieur et une jupe qui s'étend vers le bas à partir du rebord supérieur, un anneau de bord inférieur qui supporte au moins partiellement l'anneau de bord supérieur et aligne l'anneau de bord supérieur avec le socle de dispositif de chauffage de support de substrat, une plaque inférieure disposée sur un fond de la chambre de traitement qui supporte l'anneau de bord supérieur lorsque le socle de dispositif de chauffage de support de substrat est dans une position de non-traitement abaissée, et un anneau d'ombre qui s'accouple avec l'anneau de bord supérieur lorsque le socle de dispositif de chauffage de support de substrat est dans une position de traitement élevée.