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1. (WO2018102398) SYSTÈME D'INTERFÉROMÉTRIE À LUMIÈRE BLANCHE À BALAYAGE POUR LA CARACTÉRISATION D'ÉLÉMENTS SEMI-CONDUCTEURS À MOTIFS

Pub. No.:    WO/2018/102398    International Application No.:    PCT/US2017/063682
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 30 00:59:59 CET 2017
IPC: G01B 9/02
G01B 9/04
G02B 21/00
G01N 21/21
G01N 21/45
G01N 21/956
H01L 21/66
G03F 7/20
Applicants: NANOMETRICS INCORPORATED
Inventors: SMITH, Nigel P.
ANTONELLI, George Andrew
Title: SYSTÈME D'INTERFÉROMÉTRIE À LUMIÈRE BLANCHE À BALAYAGE POUR LA CARACTÉRISATION D'ÉLÉMENTS SEMI-CONDUCTEURS À MOTIFS
Abstract:
Un dispositif de métrologie interférométrique à lumière blanche selon l'invention fonctionne dans le plan d'image et le plan de pupille d'objectif. Le dispositif de métrologie interférométrique extrait le champ électrique qui présente des paramètres complexes en fonction d'un angle d'azimut, d'un angle d'incidence et d'une longueur d'onde à partir de données interférométriques obtenues à partir du plan de pupille. Les caractéristiques de l'échantillon sont déterminées à l'aide du champ électrique sur la base d'un modèle de champ électrique de l'angle d'azimut, de l'angle d'incidence et de la longueur d'onde qui est spécifique pour un ordre de diffraction zéro. Un centre de la pupille dans le plan de pupille peut être déterminé sur la base d'une transformée de Fourier des données interférométriques à chaque nouvelle mesure et utilisé pour convertir chaque pixel de la caméra imageant le plan de pupille d'objectif en un ensemble unique comprenant un angle d'incidence et un angle d'azimut de la lumière incidente sur l'échantillon.