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1. (WO2018102222) SURVEILLANCE SPECTROGRAPHIQUE À L'AIDE D'UN RÉSEAU NEURONAL

Pub. No.:    WO/2018/102222    International Application No.:    PCT/US2017/063155
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 23 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/66
H01L 21/304
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: CHERIAN, Benjamin
Title: SURVEILLANCE SPECTROGRAPHIQUE À L'AIDE D'UN RÉSEAU NEURONAL
Abstract:
Un procédé de traitement d'un substrat consiste à soumettre un substrat à un traitement qui modifie l'épaisseur d'une couche externe du substrat, à mesurer un spectre de lumière réfléchie à partir du substrat pendant le traitement, à réduire la dimensionnalité du spectre mesuré pour générer une pluralité de valeurs de composant, à générer une valeur de caractérisation à l'aide d'un réseau neuronal artificiel, et à déterminer s'il faut arrêter le traitement du substrat ou ajuster un paramètre de traitement sur la base de la valeur de caractérisation. Le réseau neuronal artificiel comporte une pluralité de nœuds d'entrée pour recevoir la pluralité de valeurs de composant, un noeud de sortie pour délivrer la valeur de caractérisation, et une pluralité de nœuds cachés connectant les nœuds d'entrée au noeud de sortie.