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1. (WO2018102055) SYSTÈME DE DÉTECTION DE PARTICULES IN SITU ÉVOLUÉ DE SYSTÈMES DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2018/102055    International Application No.:    PCT/US2017/058352
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Oct 26 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/683
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: ZHANG, Lin
LU, Xuesong
LE, Andrew V.
JI, Fa
OH, Jang Seok
SMITH, Patrick L.
JAFARI, Shawyon
ANTONIO, Ralph Peter
Title: SYSTÈME DE DÉTECTION DE PARTICULES IN SITU ÉVOLUÉ DE SYSTÈMES DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
L'invention concerne un FI comportant un détecteur de particules in-situ et un procédé de détection de particules en son sein. Selon un aspect, le FI comprend un ventilateur, un support de substrat, un détecteur de particules et une sortie d'échappement. Le ventilateur, le support de substrat et le détecteur de particules sont disposés de sorte que, en fonctionnement, le ventilateur dirige de l'air vers la sortie d'échappement et sur un substrat situé sur le support de substrat de façon à créer un écoulement laminaire. Le détecteur de particules, placé en aval du support de substrat et en amont de la sortie d'échappement, analyse l'air et détecte la concentration de particules avant que les particules ne soient évacuées par la sortie d'échappement. Les données de détection de particules collectées peuvent être combinées avec des données provenant d'autres capteurs du FI et utilisées pour identifier la source de contamination de particules. Le détecteur de particules peut également être incorporé dans d'autres composants de système, notamment, mais sans y être limité, dans un sas de chargement ou dans une chambre tampon pour y détecter une concentration de particules.