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1. (WO2018102002) CONFIGURATION DE COUCHES OPTIQUES DANS DES PROCÉDÉS DE LITHOGRAPHIE PAR IMPRESSION

Pub. No.:    WO/2018/102002    International Application No.:    PCT/US2017/051444
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 15 01:59:59 CEST 2017
IPC: B82Y 10/00
B82Y 20/00
B82Y 40/00
G03F 7/00
Applicants: MOLECULAR IMPRINTS, INC.
Inventors: VIKRAMJIT, Singh
MILLER, Michael Nevin
XU, Frank Y.
Title: CONFIGURATION DE COUCHES OPTIQUES DANS DES PROCÉDÉS DE LITHOGRAPHIE PAR IMPRESSION
Abstract:
L'invention concerne un procédé de lithographie par impression pour la configuration d'une couche optique, comprenant l'impression de premiers éléments d'un premier ordre de grandeur de taille sur un côté d'un substrat avec un modèle de formation de motifs, tout en imprimant des seconds éléments d'un second ordre de grandeur de taille sur le côté du substrat avec le modèle de formation de motifs, les seconds éléments étant dimensionnés et agencés pour définir un espace entre le substrat et une surface adjacente.