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1. (WO2018101819) SYSTÈME DE MICROSCOPIE À SONDE DE BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE MONTAGE ET DE DÉMONTAGE D'UNE SONDE À L'INTÉRIEUR DE CELUI-CI
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N° de publication : WO/2018/101819 N° de la demande internationale : PCT/NL2017/050788
Date de publication : 07.06.2018 Date de dépôt international : 28.11.2017
CIB :
G01Q 70/02 (2010.01)
Déposants : NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST- NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO[NL/NL]; Anna Van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage, NL
Inventeurs : SADEGHIAN MARNANI, Hamed; NL
BIJNAGTE, Anton Adriaan; NL
DEKKER, Albert; NL
Mandataire : JANSEN, C.M.; V.O. P.O. Box 87930 2508 DH Den Haag, NL
Données relatives à la priorité :
16201127.429.11.2016EP
16201131.629.11.2016EP
Titre (EN) SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM, AND METHOD FOR MOUNTING AND DEMOUNTING A PROBE THEREIN
(FR) SYSTÈME DE MICROSCOPIE À SONDE DE BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE MONTAGE ET DE DÉMONTAGE D'UNE SONDE À L'INTÉRIEUR DE CELUI-CI
Abrégé : front page image
(EN) A scanning probe microscopy system (1) comprises a probe (2), a scanning head (11) having a first probe holder (21), a probe exchange manipulator (12) having a second probe holder (22), a force generating system (31, 32), and a force control system (41, 42) for controlling the force generating system to provide a resultant force (72) acting on the probe. Said resultant force comprises gas pressure force components and/or electrostatic force components. During probe-demounting or probe -mounting the probe is moving (52) from the first probe holder (21) towards the second probe holder (22), or vice versa, respectively, while neither the first probe holder nor the second probe holder is contacting the probe. Said movement of the probe is driven by said resultant force. The invention allows for automatically mounting and demounting of probes with high speed and with high accuracy.
(FR) L'invention concerne un système de microscopie à sonde de balayage (1) comprenant une sonde (2), une tête de balayage (11) ayant un premier support de sonde (21), un manipulateur d'échange de sonde (12) ayant un second support de sonde (22), un système de génération de force (31, 32), et un système de commande de force (41, 42) pour commander le système de génération de force pour fournir une force résultante (72) agissant sur la sonde. Ladite force résultante comprend des composantes de force de pression de gaz et/ou des composantes de force électrostatique. Pendant le démontage de la sonde ou le montage de la sonde, la sonde se déplace (52) depuis le premier support de sonde (21) vers le second support de sonde (22), ou vice versa, respectivement, tandis que ni le premier support de sonde ni le second support de sonde n'entre en contact avec la sonde. Ledit mouvement de la sonde est entraîné par ladite force résultante. L'invention permet le montage et le démontage automatiques de sondes à grande vitesse et avec une grande précision.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)