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1. (WO2018101814) DISPOSITIF INTÉGRÉ MONOLITHIQUE

Pub. No.:    WO/2018/101814    International Application No.:    PCT/MY2017/050071
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 16 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 41/27
H01L 41/311
H01L 41/047
H01L 41/053
H01L 21/56
Applicants: SILTERRA MALAYSIA SDN. BHD.
Inventors: SOUNDARA PANDIAN, Mohanraj
TAY, Wee Song
MADHAVEN, Venkatesh
KANTIMAHANTI, Arjun Kumar
Title: DISPOSITIF INTÉGRÉ MONOLITHIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif intégré monolithique ayant une architecture qui permet au dispositif acoustique de capter-convertir soit les ondes acoustiques de surface, soit les ondes acoustiques de volume. Le dispositif intégré monolithique comprend : une couche de substrat (101) en tant que base; un diélectrique de couche intermédiaire (102) disposé sur la couche de substrat (101); un circuit électronique sensiblement formé dans le diélectrique de couche intermédiaire (102) et porté par la couche de substrat (101), le circuit électronique comprenant une pluralité de couches métalliques constituées d'un ou de plusieurs métaux espacés (204); un élément piézoélectrique (301) pris en sandwich entre des électrodes supérieure et inférieure dans le diélectrique de couche intermédiaire. L'électrode supérieure est un métal (204) d'une couche métallique supérieure appartenant au circuit électronique et l'électrode inférieure est un métal (204) d'une couche métallique inférieure appartenant au circuit électronique. Afin de capter-convertir des ondes acoustiques de volume, le diélectrique de couche intermédiaire est pourvu d'une cavité supérieure (105) au-dessus de l'électrode supérieure et d'une cavité inférieure (106) au-dessous de l'électrode inférieure.