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1. (WO2018101802) ENSEMBLE DE CHAUFFAGE
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N° de publication :    WO/2018/101802    N° de la demande internationale :    PCT/KR2017/014042
Date de publication : 07.06.2018 Date de dépôt international : 01.12.2017
CIB :
C23C 14/26 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01)
Déposants : FINEVA. INC. [KR/KR]; #302-309, 267, Gajeong-ro Yuseong-gu Daejeon 34113 (KR)
Inventeurs : KIM, Jung Hyung; (KR)
Mandataire : IPS PATENT FIRM; 5th Fl., 14, Banpo-daero 23-gil Seocho-gu Seoul 06656 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2016-0163081 01.12.2016 KR
10-2016-0163082 01.12.2016 KR
10-2016-0163083 01.12.2016 KR
10-2016-0163084 01.12.2016 KR
10-2017-0037876 24.03.2017 KR
Titre (EN) HEATING ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE DE CHAUFFAGE
(KO) 가열 어셈블리
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a heating assembly. According to an aspect of the present invention, there is provided a heating assembly for deposition equipment, the heating assembly comprising: a crucible having a space formed therein so as to contain a deposition material and having at least one nozzle implemented so as to guide the deposition material to the outside; a coil arranged outside the crucible and configured such that, as high-frequency power is applied thereto, a coil current corresponding to the high-frequency power flows through the coil, thereby forming a dynamic magnetic field in the periphery thereof; and a magnetic field concentrating structure arranged in the periphery of the coil, wherein an induction current is formed in the outer wall of the crucible by the dynamic magnetic field, the crucible is heated by heat occurring on the basis of the induction current and an electric resistance element of the crucible, and the dynamic magnetic field formed in the periphery of the coil is concentrated by the magnetic field concentrating structure, thereby increasing the heat occurring in the crucible.
(FR)La présente invention concerne un ensemble de chauffage. Selon un aspect de la présente invention, l'invention concerne un ensemble de chauffage destiné à un équipement de dépôt, l'ensemble de chauffage comprenant : un creuset ayant un espace formé en son sein de manière à contenir un matériau de dépôt et ayant au moins une buse mise en œuvre de sorte à guider le matériau de dépôt vers l'extérieur ; une bobine disposée à l'extérieur du creuset et conçue de telle sorte que, lorsqu'une énergie haute fréquence est appliquée à celle-ci, un courant de bobine correspondant à l'énergie haute fréquence circule à travers la bobine, formant ainsi un champ magnétique dynamique dans sa périphérie ; et une structure de concentration de champ magnétique disposée dans la périphérie de la bobine, un courant d'induction étant formé dans la paroi externe du creuset par le champ magnétique dynamique, le creuset est chauffé par la chaleur générée sur la base du courant d'induction et d'un élément de résistance électrique du creuset, et le champ magnétique dynamique formé dans la périphérie de la bobine est concentré par la structure de concentration de champ magnétique, ce qui permet d'augmenter la chaleur produite dans le creuset.
(KO)본 발명은 가열 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명의 일 양상에 따른 증착 물질을 수용하기 위한 공간이 내부에 형성되고, 상기 증착 물질을 외부로 가이드하기 위한 적어도 하나 이상의 노즐이 구현되는 크루시블; 상기 크루시블의 외측에 배치되며, 고주파수 전력이 인가되어 상기 고주파수 전력에 대응하는 코일 전류가 흐름에 따라 주변에 다이나믹한 자기장이 형성되는 코일; 및 상기 코일의 주변에 배치되는 자기장 집속 구조물;을 포함하되 상기 크루시블은 상기 다이나믹한 자기장에 의하여 외벽에 유도 전류가 형성되고, 상기 유도 전류와 상기 크루시블의 전기적 저항 요소에 기초하여 발생되는 열에 의해 가열되며, 상기 자기장 집속 구조물에 의해 상기 코일 주변에 형성되는 상기 다이나믹한 자기장이 집속됨으로써, 상기 크루시블에 발생되는 상기 열이 상승하는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공된다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)