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1. (WO2018100881) SOCLE DE PLACEMENT ET APPAREIL D'INSPECTION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE

Pub. No.:    WO/2018/100881    International Application No.:    PCT/JP2017/036400
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01R 31/26
H01L 21/66
H01L 21/683
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: KASAI Shigeru
河西 繁
FUJISAWA Yoshinori
藤澤 良徳
Title: SOCLE DE PLACEMENT ET APPAREIL D'INSPECTION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
Abstract:
L'invention concerne un appareil d'inspection de dispositif électronique permettant de réduire des hausses de prix. Un sondeur (10) comprend un étage (11) sur lequel sont placés un support (C) et une tranche (W). L'étage (11) comprend un couvercle d'étage (27) sur lequel est placé le support (C), une unité de refroidissement (29) qui vient en contact avec le couvercle d'étage (27) et une unité d'irradiation à DEL (30) agencée de façon à faire face au support (C) à travers le couvercle d'étage (27) et l'unité de refroidissement (29). Le couvercle d'étage (27) et l'unité de refroidissement (29) sont formés d'un élément d'émission de lumière. Un réfrigérant à émission de lumière s'écoule dans un trajet d'écoulement de réfrigérant (28) dans l'unité de refroidissement (29). L'unité d'irradiation à DEL (30) comprend des DEL multiples (32) dirigées vers le support (C). Le support (C) est formé d'un substrat de verre (24) présentant une forme sensiblement en forme de disque. Une pluralité de dispositifs électroniques (25) sont agencés à un intervalle prédéterminé entre ces derniers sur une surface du support (C).