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1. (WO2018100873) ANALYSEUR PAR FLUORESCENCE X

Pub. No.:    WO/2018/100873    International Application No.:    PCT/JP2017/036183
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Oct 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 23/223
G01N 23/207
Applicants: RIGAKU CORPORATION
株式会社リガク
Inventors: SAKO, Yukio
迫 幸雄
Title: ANALYSEUR PAR FLUORESCENCE X
Abstract:
L'invention concerne un analyseur de fluorescence X permettant : une analyse de haute précision dans laquelle des composants d'arrière-plan sont éliminés ; et une mesure rapide. L'analyseur de fluorescence X comprend : une source de rayons X (100) qui irradie un rayon X primaire qui génère un rayon X secondaire, irradiant ce dernier sur une surface d'échantillon (101) à un diamètre d'irradiation d'au moins 1 mm ; un élément spectroscopique (106) qui divise le rayon X secondaire ; un premier détecteur (108) qui mesure l'intensité du rayon X secondaire divisé par l'élément spectroscopique ; un second détecteur à dispersion d'énergie (110) qui mesure l'intensité du rayon X secondaire sans la division de ce dernier ; un dispositif de mémorisation (116) qui pré-mémorise des rapports pour chaque intensité d'arrière-plan comprise dans des résultats de mesure provenant des premier et second détecteurs ; et un dispositif de calcul (118) qui sépare en formes d'onde et calcule l'intensité d'arrière-plan à partir de l'intensité mesurée de l'échantillon telle que mesurée par le second détecteur, effectue une correction par la déduction d'une valeur, l'intensité d'arrière-plan séparée étant multipliée par le rapport, à partir de l'intensité mesurée pour l'échantillon telle que mesurée par le premier détecteur, et effectue une analyse quantitative.