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1. (WO2018100273) CIRCUIT ELECTRONIQUE COMPRENANT DES TRANCHEES D'ISOLATION ELECTRIQUE

Pub. No.:    WO/2018/100273    International Application No.:    PCT/FR2017/053240
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 24 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/762
Applicants: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Inventors: GASSE, Adrien
JARJAYES, Sylvie
VOLPERT, Marion
Title: CIRCUIT ELECTRONIQUE COMPRENANT DES TRANCHEES D'ISOLATION ELECTRIQUE
Abstract:
L'invention concerne un circuit électronique (30) comprenant un substrat (6) semiconducteur ayant des première et deuxième faces (8, 10) opposées et des tranchées (12, 14) d'isolation électrique. Chaque tranchée comprend au moins des première et deuxième portions isolantes (19A, 19B) d'un premier matériau isolant s'étendant de la première face à la deuxième face,des première et deuxième portions intermédiaires (34A, 34B),s'étendant de la première face à la deuxième face, en un premier matériau de remplissage, et une troisième portion isolante (32; 42A, 42B; 52) s'étendant de la première face à la deuxième face, la première portion isolante (19A) étant en contact avec la première portion intermédiaire (34A), la deuxième portion isolante (19B) étant en contact avec la deuxième portion intermédiaire (34B), et la troisième portion isolante (32; 42A, 42B; 52) étant interposée entre les portions intermédiaires (34A, 34B).