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1. (WO2018100023) MATÉRIAU DE DIAMANT SYNTHÉTIQUE MONOCRISTALLIN PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR

Pub. No.:    WO/2018/100023    International Application No.:    PCT/EP2017/080901
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 01 00:59:59 CET 2017
IPC: C30B 25/02
C30B 29/04
Applicants: ELEMENT SIX TECHNOLOGIES LIMITED
Inventors: MARKHAM, Matthew Lee
EDMONDS, Andrew Mark
DHILLON, Harpreet Kaur
HARDEMAN, David William
Title: MATÉRIAU DE DIAMANT SYNTHÉTIQUE MONOCRISTALLIN PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
Abstract:
L'invention concerne un matériau de diamant CVD monocristallin, le matériau comprenant une concentration totale en azote d'au moins 3 ppm telle que mesurée par spectrométrie de masse à ions secondaires (SIMS) ; et une faible biréfringence optique de telle sorte que, dans un échantillon du matériau de diamant CVD monocristallin ayant une surface d'au moins 1,3 mm x 1,3 mm, et mesurée à l'aide d'une taille de pixel de surface dans une plage de 1 x 1 μm2 à 20 x 20 μm2, une valeur maximale de Δn[moyenne] ne dépasse pas 1,5 x 10-4, Δn [moyenne] étant une valeur moyenne d'une différence entre l'indice de réfraction pour la lumière polarisée parallèlement à des axes lents et rapides moyennés sur l'épaisseur de l'échantillon. L'invention concerne également un procédé de production du matériau.