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1. (WO2018099908) MODELAGE DE CONTOURS DE SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2018/099908    International Application No.:    PCT/EP2017/080649
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 29 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 51/40
H01L 51/05
Applicants: FLEXENABLE LIMITED
Inventors: JONGMAN, Jan
ASPLIN, Brian
Title: MODELAGE DE CONTOURS DE SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
La présente invention concerne une technique de production d'un empilement définissant une pluralité de transistors à couches minces (TFT) comprenant au moins des électrodes source/drain et des lignes d'adressage à un niveau source/drain, le procédé consistant à : former un empilement de niveaux de source/drain à motifs comprenant au moins une première couche sur le substrat de support et une seconde couche sur la première couche, pour définir au moins lesdites électrodes source/drain et lesdites lignes d'adressage ; déposer un matériau de canal semi-conducteur sur au moins lesdites électrodes source/drain et lesdites lignes d'adressage ; modeler des contours sur la couche de matériau de canal semi-conducteur par un procédé de modelage de contours ; le matériau de la première couche étant plus résistant à l'élimination par ledit processus de modelage de contours que le matériau de ladite seconde couche.