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1. (WO2018099866) COMPOSANT DE SELECTION SPECTRALE POUR RADIATIONS XUV

Pub. No.:    WO/2018/099866    International Application No.:    PCT/EP2017/080549
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 28 00:59:59 CET 2017
IPC: G02B 5/08
G21K 1/06
G02B 5/26
Applicants: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Inventors: DELMOTTE, Franck
DEHLINGER, Maël
Title: COMPOSANT DE SELECTION SPECTRALE POUR RADIATIONS XUV
Abstract:
Selon un aspect, la présente description concerne un composant de sélection spectrale (100) pour radiations XUV comprenant un premier miroir multicouche (10) destiné à recevoir un faisceau de radiations XUV (I1) selon un axe d'entrée situé dans un premier plan d'incidence et un deuxième miroir multicouche (20) destiné à recevoir dans un deuxième plan d'incidence un faisceau de radiations XUV (I2) réfléchi par le premier miroir pour les renvoyer vers un axe de sortie du composant de sélection spectrale. L'un des premier et deuxième miroirs présente une première réponse spectrale en énergie passe-haut, avec un flanc du côté des énergies basses de raideur supérieure à 0,1 eV-1 et une réjection des basses énergies plus grande que 20 tandis que l'autre miroir présente une deuxième réponse spectrale en énergie passe-bas, avec un flanc du côté des énergies hautes de raideur supérieure à 0,1 eV-1 et une réjection des hautes énergies plus grande que 20. Par ailleurs, les premier et deuxième miroirs présentent un recouvrement seulement partiel de leurs réponses spectrales en énergie.