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1. (WO2018099348) DISPOSITIF DE NIVELLEMENT ET DE FOCALISATION

Pub. No.:    WO/2018/099348    International Application No.:    PCT/CN2017/113118
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 28 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 9/00
G03F 7/20
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: LAN, Ke
蓝科
WANG, Shihua
王诗华
Title: DISPOSITIF DE NIVELLEMENT ET DE FOCALISATION
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de focalisation et de mise à niveau permettant de calculer la quantité de défocalisation et/ou la quantité d'inclinaison d'un substrat (60), comprenant une unité d'éclairage, une plaque de marquage de projection (10) dotée d'un marqueur de fente de projection, un groupe d'imagerie par projection (20), un prisme de réfraction (30), un diviseur de lumière (40), une unité de détection et une unité de traitement des signaux. Un faisceau généré à partir de l'unité d'éclairage forme un point lumineux de mesure après avoir traversé la plaque de marquage de projection (10). Le groupe d'imagerie par projection (20) forme une image du point lumineux de mesure à la surface du substrat (60). Le prisme de réfraction (30) est utilisé pour permettre au faisceau, qui est réfléchi par la surface du substrat (60) pour la première fois, d'être à nouveau incident sur la surface du substrat (60) après avoir été réfracté, de sorte que le faisceau qui est réfléchi par la surface du substrat (60) pour la deuxième fois passe à travers le groupe d'imagerie par projection (20). Le diviseur de lumière (40) sert à guider le faisceau qui est réfléchi par la surface du substrat (60) pour la deuxième fois vers l'unité de détection. L'unité de traitement des signaux calcule la quantité de défocalisation et/ou la quantité d'inclinaison de la surface du substrat (60), en fonction du point lumineux de mesure détecté par l'unité de détection. Le dispositif de focalisation et de mise à niveau a une structure simple, est facile à installer et à régler, et peut améliorer la précision de détection.