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1. (WO2018099333) DISPOSITIF À ÉTAGÈRE ROTATIVE D'APPAREIL DE NANO-REVÊTEMENT

Pub. No.:    WO/2018/099333    International Application No.:    PCT/CN2017/112929
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 25 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 16/458
C23C 16/455
Applicants: JIANGSU FAVORED NANOTECHNOLOGY CO., LTD.
江苏菲沃泰纳米科技有限公司
Inventors: ZONG, Jian
宗坚
Title: DISPOSITIF À ÉTAGÈRE ROTATIVE D'APPAREIL DE NANO-REVÊTEMENT
Abstract:
L'invention concerne un dispositif à étagère rotative d'appareil de nano-revêtement, le dispositif comprenant une enceinte réactionnelle (1), une étagère rotative (2) étant disposée dans l'enceinte réactionnelle (1), un arbre central de l'étagère rotative (2) ayant une structure de tuyau creux, et un trou traversant étant disposé sur le tuyau creux ; une partie supérieure de l'enceinte réactionnelle (1) est pourvue d'une ouverture d'extraction, l'ouverture d'extraction étant sur le même axe que le tuyau creux et située au-dessus du tuyau creux ; un disque circulaire inférieur de l'étagère rotative (2) est pourvu d'un anneau denté intérieur, un engrenage est monté sur un arbre de moteur électrique rotatif et une pièce (8) est placée sur une couche de réception d'objet de l'étagère rotative (2).