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1. (WO2018099332) DISPOSITIF À ÉTAGÈRE ROTATIVE PLANÉTAIRE POUR APPAREIL DE NANO-REVÊTEMENT

Pub. No.:    WO/2018/099332    International Application No.:    PCT/CN2017/112918
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 25 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 16/458
Applicants: JIANGSU FAVORED NANOTECHNOLOGY CO., LTD.
江苏菲沃泰纳米科技有限公司
Inventors: ZONG, Jian
宗坚
Title: DISPOSITIF À ÉTAGÈRE ROTATIVE PLANÉTAIRE POUR APPAREIL DE NANO-REVÊTEMENT
Abstract:
L'invention concerne un dispositif à étagère rotative planétaire pour un appareil de nano-revêtement, relevant du domaine technique du revêtement sous vide. Dans le dispositif, une ouverture d'extraction d'air (2) est reliée à la partie supérieure d'une chambre (3), un tuyau creux (10) est monté dans la position d'un arbre central de la chambre (3), une extrémité supérieure du tuyau creux (10) est reliée à l'ouverture d'extraction d'air (2), un moteur électrique rotatif (9) est monté dans le bas de la chambre (3) et une étagère rotative planétaire est montée sur le moteur électrique rotatif (9). Dans l'étagère rotative planétaire, un arbre rotatif est relié au moteur électrique rotatif (9), l'arbre rotatif et le tuyau creux (10) sont coaxiaux, un support d'étagère rotative (11) est disposé de manière fixe sur l'arbre rotatif, au moins deux arbres rotatifs planétaires (6) sont disposés symétriquement sur le support d'étagère rotative (11), au moins une couche de palette (8) est disposée sur les arbres rotatifs planétaires (6) et des pièces (7) à traiter sont placées sur la palette (8). Pendant le revêtement, l'étagère rotative planétaire effectue une double rotation continue consistant en une rotation autour de l'arbre et en une rotation sur son axe, évitant ainsi que l'épaisseur soit irrégulière sur les pièces (7) dans une région donnée en raison des variations de densité d'un gaz monomère chimique dans chaque région. La rotation de l'étagère rotative planétaire est également avantageuse pour mélanger complètement le gaz monomère chimique entrant dans la chambre (3) jusqu'à ce qu'il soit homogène.