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1. (WO2018098980) DISPOSITIF DE FORMATION DE REVÊTEMENT POLYMÉRISÉ PAR PLASMA

Pub. No.:    WO/2018/098980    International Application No.:    PCT/CN2017/081773
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 26 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05H 7/14
B05B 15/12
Applicants: JIANGSU FAVORED NANOTECHNOLOGY CO., LTD.
江苏菲沃泰纳米科技有限公司
Inventors: ZONG, Jian
宗坚
Title: DISPOSITIF DE FORMATION DE REVÊTEMENT POLYMÉRISÉ PAR PLASMA
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de formation d'un revêtement polymérisé par plasma. Dans le dispositif, des sections transversales d'une paroi latérale interne d'un compartiment à vide (1) sont des cercles ayant le même diamètre ou des polygones réguliers ayant des côtés de même longueur, les polygones réguliers ayant au moins six côtés. Une électrode poreuse (2) est installée sur une paroi interne du compartiment à vide (1). L'électrode poreuse (2) est connectée à une alimentation électrique haute fréquence (3). Au moins deux cavités de décharge fermées hermétiquement (4) sont disposées sur une paroi externe du compartiment à vide (1). Au moins deux grilles métalliques (5) sont disposées dans une région où la cavité de décharge (4) est reliée à la paroi interne du compartiment à vide (1). Un tuyau de collecte (11) de gaz d'échappement est installé verticalement sur un axe central dans le compartiment à vide (1). Un plateau rotatif (12) est disposé à l'intérieur du compartiment à vide (1). Un axe de rotation du plateau rotatif (12) est coaxial à l'axe central du compartiment à vide (1). Un substrat (15) à traiter est placé sur le plateau rotatif (12). Le dispositif utilise un compartiment à vide ayant une structure symétrique par rapport à son axe central pour maintenir une concentration stable d'une espèce active dans une polymérisation spatiale. Le dispositif fournit un compartiment à vide de grand volume, permet un traitement par lots de grandes quantités en une seule opération et présente une efficacité de traitement élevée, de faibles coûts et une bonne uniformité des produits traités par lots.