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1. (WO2018098004) CO-GAZ DE TRIFLUORURE DE PHOSPHORE POUR IMPLANTS DE CARBONE

Pub. No.:    WO/2018/098004    International Application No.:    PCT/US2017/061929
Publication Date: Fri Jun 01 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 17 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/48
H01J 37/317
Applicants: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors: COLVIN, Neil
HSIEH, Tseh-Jen
Title: CO-GAZ DE TRIFLUORURE DE PHOSPHORE POUR IMPLANTS DE CARBONE
Abstract:
La présente invention concerne des procédés et des systèmes d'implantation d'ions de carbone qui consistent à utiliser du trifluorure de phosphore (PF3) en tant que co-gaz avec un gaz d'oxyde de carbone, et, dans certains modes de réalisation, en association avec les composants de la source d'ions en alliage de tungstène à base de lanthane, conduit avantageusement à une oxydation minimale de la cathode 306 et de l'écran 316 de cathode. De plus, des niveaux acceptables de dépôts de carbone sur les composants internes de la chambre d'arc 300 ont été observés ainsi que des réductions marquées dans le cycle de l'halogène, c'est-à-dire, la formation de WFx.