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1. (WO2018097955) OUTIL DE MESURE DE FORCE DE SERRAGE ÉLECTROSTATIQUE DE SUPPORTS DE CHAMBRE DE TRAITEMENT
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N° de publication : WO/2018/097955 N° de la demande internationale : PCT/US2017/060245
Date de publication : 31.05.2018 Date de dépôt international : 06.11.2017
CIB :
H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : NEMANI, Srinivas D.; US
PISHARODY, Gautam; US
RAMASWAMI, Seshadri; US
ROY, Shambhu N.; US
KUMAR, Niranjan; US
Mandataire : BERNADICOU, Michael A.; US
BRASK, Justin K.; US
Données relatives à la priorité :
15/360,41223.11.2016US
Titre (EN) ELECTROSTATIC CHUCKING FORCE MEASUREMENT TOOL FOR PROCESS CHAMBER CARRIERS
(FR) OUTIL DE MESURE DE FORCE DE SERRAGE ÉLECTROSTATIQUE DE SUPPORTS DE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN) An electrostatic chucking force tool is described that may be used on workpiece carriers for micromechanical and semiconductor processing. One example includes a workpiece fitting to hold a workpiece when gripped by an electrostatic chucking force by an electrostatic chuck, an arm coupled to the workpiece fitting to pull the workpiece through the workpiece fitting laterally across the chuck, and a force gauge coupled to the arm to measure an amount of force with which the workpiece fitting is pulled by the arm in order to move the workpiece.
(FR) L'invention concerne un outil à force de serrage électrostatique qui peut être utilisé sur des porte-pièces à travailler à des fins de traitement micromécanique et de semi-conducteurs. Un exemple comprend un montage de pièce à travailler servant à maintenir une pièce à travailler lorsque cette dernière est saisie par une force de serrage électrostatique d'un mandrin électrostatique, un bras accouplé au montage de pièce à travailler destiné à tirer latéralement la pièce à travailler par l'intermédiaire du montage de pièce à travailler à travers le mandrin, et un dynamomètre de traction accouplé au bras destiné à mesurer une quantité de force avec laquelle le montage de pièce à travailler est tiré par le bras afin de déplacer la pièce à travailler.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)