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1. (WO2018096728) DISPOSITIF DE LIAISON ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE LA HAUTEUR D'UN SUJET

Pub. No.:    WO/2018/096728    International Application No.:    PCT/JP2017/027171
Publication Date: Fri Jun 01 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jul 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 11/03
G02B 7/28
H01L 21/52
H01L 21/60
Applicants: SHINKAWA LTD.
株式会社新川
Inventors: HAYATA, Shigeru
早田 滋
TOMIYAMA, Hiromi
富山 弘己
Title: DISPOSITIF DE LIAISON ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE LA HAUTEUR D'UN SUJET
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de liaison (100) comprenant un système optique (20), un élément d'imagerie (70) pour acquérir une image formée par le système optique (20) en tant qu'image (14), une unité d'éclairage (30) pour éclairer un composant électronique (13) et une partie commande (80) pour traiter l'image acquise par l'élément d'imagerie (70), la partie commande (80) éclairant le composant électronique (13) par l'intermédiaire d'un premier trajet optique incliné par rapport à l'axe optique (24) d'une première partie du système optique (20) orientée vers le composant électronique (13) et acquérant une première image, éclairant le composant électronique (13) par l'intermédiaire d'un second trajet optique incliné vers le côté opposé à partir du premier trajet optique incliné par rapport à l'axe optique (24) de la première partie et acquérant une seconde image du composant électronique (13) en tant que sujet, et calculant une quantité de variation à partir d'une hauteur de référence du composant électronique (13) sur la base de la quantité de décalage de position entre la première image et la seconde image. La hauteur d'un sujet ou d'un composant du dispositif de liaison peut ainsi être détectée par un procédé simple.