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1. (WO2018096526) SYSTÈME OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE MESURE DE PARAMÈTRES DE STRUCTURES À MOTIFS DANS DES DISPOSITIFS MICRO-ÉLECTRONIQUES

Pub. No.:    WO/2018/096526    International Application No.:    PCT/IL2016/051263
Publication Date: Fri Jun 01 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 24 00:59:59 CET 2016
IPC: G01B 11/00
G01N 21/95
Applicants: NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD.
Inventors: GROSSMAN, Danny
GOV, Shahar
VANHOTSKER, Moshe
ENGEL, Guy
DOTAN, Elad
Title: SYSTÈME OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE MESURE DE PARAMÈTRES DE STRUCTURES À MOTIFS DANS DES DISPOSITIFS MICRO-ÉLECTRONIQUES
Abstract:
L'invention concerne un système et un procédé optiques destinés à être utilisés dans des mesures sur la surface supérieure d'un échantillon en couches lorsqu'il est situé dans un plan de mesure. Le système optique est conçu sous la forme d'un système à incidence normale possédant un canal d'éclairage et un canal collecteur, et comprend une unité de lentille d'objectif et un dispositif ayant une incidence sur la propagation de la lumière. L'unité de lentille d'objectif est logée dans les canaux d'éclairage et collecteur, ce qui permet de délimiter un trajet optique commun pour la propagation de la lumière d'éclairage depuis le canal d'éclairage vers une zone d'éclairage dans le plan de mesure et pour la propagation de la lumière renvoyée depuis le plan de mesure vers le canal collecteur. Le dispositif ayant une incidence sur la propagation de la lumière comprend une structure à ouvertures située dans le canal d'éclairage et/ou le canal collecteur, qui est conçue pour fournir un obscurcissement angulaire d'un trajet de propagation de lumière afin de bloquer des segments angulaires associés à la propagation de lumière à partir de zones à l'extérieur de la zone éclairée.