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1. (WO2018096130) SYSTÈME DE TRANSDUCTEUR MEMS DESTINÉ À LA DÉTECTION DE PRESSION ET ACOUSTIQUE

Pub. No.:    WO/2018/096130    International Application No.:    PCT/EP2017/080461
Publication Date: Fri Jun 01 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 28 00:59:59 CET 2017
IPC: B81B 3/00
H04R 19/04
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: DOLLER, Andrew
HATIPOGLU, Gokhan
ZHANG, Yujie
GEHL, Bernhard
MEISEL, Daniel Christoph
Title: SYSTÈME DE TRANSDUCTEUR MEMS DESTINÉ À LA DÉTECTION DE PRESSION ET ACOUSTIQUE
Abstract:
Selon la présente invention, un système de transducteur MEMS comprend un dispositif transducteur MEMS permettant de détecter au moins un signal de pression ou un signal acoustique. Le dispositif de transducteur MEMS comprend des premier et second diaphragmes. Entre les diaphragmes est formé un élément d'espacement, des éléments de condensateur à plaque et des éléments d'électrode. Les éléments de condensateur à plaques sont accouplés aux diaphragmes par l'intermédiaire de l'élément d'espacement. Un élément facultatif peut être disposé à l'intérieur de l'élément d'espacement. Les extrémités distales des éléments d'électrode sont accouplées à une structure telle qu'un élément isolant. Des oxydes facultatifs peuvent être formés à l'intérieur des éléments de condensateur à plaque. Une électrode de détection de pression formée entre les diaphragmes peut être accouplée à l'élément isolant.